屬於硬質合金複合塗層技術的WC-Ni-DLC納米複合塗層
來源:技術支持 | 發布日期:2023-10-30

一種WC-Ni-DLC納米複合塗層(céng)屬於硬質合金複合塗層技術領(lǐng)域,WC-Ni-DLC納(nà)米複合塗層(céng)由陰極電弧離子(zǐ)鍍(dù)結合陽極層離子源複合製備而成。製(zhì)備的WC-Ni-DLC納米複(fù)合塗層(céng)厚度可達30~60微米,其厚度顯著優於常規氮化物和碳化物硬質塗層,在室溫-500C範圍內的摩擦係數為0.11~0.25,且在此溫度範圍內能夠始(shǐ)終保持較低的摩擦係數和優良的(de)抗磨損性能,可廣泛應用於刀具等機械加工行(háng)業,對推動綠色加工行業的發展和節(jiē)能降耗(hào),具有重(chóng)要的實際意義。

精密配件鍍WCC塗層

WC-Ni-DLC納米複合(hé)塗層的製備方法,其特征在於,所述的WC-Ni-DLC納米複合塗層的製備方法(fǎ),包(bāo)括以下步驟:

1:準備

WNi合金為陰極電弧(hú)離子鍍靶材,陰極電弧離子鍍靶材的(de)靶麵和陽極層離子源靶材的靶麵法向線重合,陰極電弧(hú)離子鍍靶材的靶麵(miàn)和陽極層離(lí)子源靶材的靶麵之(zhī)間的間距(jù)為450~500mm;將陰極電弧離(lí)子鍍靶材和陽極(jí)層(céng)離子源靶材設置在真空室中(zhōng),且(qiě)靶麵法向線和真空室中心線(xiàn)在同一平(píng)麵內切垂直:將鍍膜基材樣品(pǐn)設置在真(zhēn)空室中的試樣架中;當(dāng)真空(kōng)室壓強(qiáng)≤6X10Pa,開始加熱,當真空室壓強小(xiǎo)於2X10Pa,真空室溫度保持在460~470C,開始鍍膜:

2:鍍膜

向(xiàng)真空室內通(tōng)入Ar,使得真空室壓強為0.1~0.2Pa,鍍膜(mó)基材樣品公轉,開啟陽極層離子源,設置功率為(wéi)3.5~4KW,電壓為1200~1500V,時間為1020min;調整陽極層離子(zǐ)源的功率為(wéi)1.5~2.5KW電為800~1000V,持續(xù)通入Ar開啟偏(piān)壓電源負偏壓值範圍為400~600V開啟陰極電弧離子鍍電(diàn)源,調節陰極電弧離子鍍(dù)靶材的電流至70~80A,沉(chén)積得到WNi合金層,所沉積的WNi合金層厚度1~2微(wēi)米,時間5~10min;S3:通入乙炔反應

精(jīng)密配件鍍WCC塗層

向真空室內通入乙炔,至真空室內總壓強為0.5~0.6Pa,沉積(jī)150~300min,得(dé)到沉積在鍍膜基材樣品上(shàng)的WC-Ni-DLC納米複合塗層。7.根據權利要求6所述的WC-Ni-DLC納米複(fù)合塗層的製備方法,其特征在於,所述的S1中,陰極電弧(hú)離子鍍的靶材的靶麵(miàn)直徑為100mm;陽極層離(lí)子源的靶麵直徑為150mm8.根據(jù)權利要求6所述的WC-Ni-DLC納米複合塗層的製備方法,其特征在於,所述的S2中鍍膜基材樣品公轉的速率為(wéi)10~15r/min,自轉速率為30~40r/min9.權利要求1~4任意一項所述(shù)的WC-Ni-DLC納米複合塗層的應用,其特征在於,WCNi-DLC納米複合塗(tú)層鍍在硬質(zhì)合金刀具(jù)上或鍍在碳素工具鋼刀(dāo)具(jù)上。10.根據(jù)權利要求9所述的WC-Ni-DLC納米複合塗層的應用,其特征在於,刀具為車刀銑刀(dāo)、鑽頭中的一種。

【責任編輯】小編

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