以下是關於DLC塗層的詳細介紹:
基本信息
定義:DLC 塗層,即類金剛(gāng)石碳膜,是一種非(fēi)晶態碳膜,其結構中含有金剛石結構(sp³ 鍵)和石(shí)墨結構(sp² 鍵)的(de)亞穩非晶(jīng)態物質,主要由碳和氫組成。外觀:通常呈現出黑灰色。
製備方法:物理氣相沉積(PVD)
濺射法:通過高能粒子(zǐ)轟擊(jī)碳靶材,使碳原子被濺(jiàn)射出來並(bìng)沉積在(zài)基底表麵形成 DLC 塗層。
離(lí)子束沉積(jī)(IBAD):使用離子束轟擊碳源目標,釋放碳離子並使其(qí)沉積在基底表麵。
化學氣相沉積(CVD)
熱解 CVD:在高(gāo)溫下(xià),將含碳的氣體(tǐ)如甲烷、乙炔等分解為碳原子,然後沉積在基底表麵。 光催化 CVD:利(lì)用光催化作(zuò)用,使含碳氣體在基底表麵發生化學(xué)反應生成(chéng) DLC 塗層。
射頻等離子體增強化學氣(qì)相沉積(PECVD):在沉積過(guò)程中(zhōng)引入射頻等離子體,增強反應活性,實現低溫下 DLC 薄膜的生長。
高硬度:維(wéi)氏硬度可高達 2200-4000HV,接近天然金剛(gāng)石的硬度(dù),能顯著增強材料(liào)表麵的耐磨性。
低摩擦係(xì)數:表麵光滑無缺陷(xiàn),摩擦係數通常小於 0.2,甚至在一(yī)些情況下可低至 0.05-0.1,能有(yǒu)效減(jiǎn)少摩擦損失。
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