半導體晶片加工的遊星輪，遊星輪上均（jun1）布有多個用於放置半導體晶片的孔位,其中一（yī）個所述孔位的一側設置有用於判斷（duàn）半導體晶片起（qǐ）始放入位置的標識，以所述標識為（wéi）起點按一定的規則順序依次將（jiāng）半導體（tǐ）晶（jīng）片放入相應的所述孔位中。本（běn）實用新型準確的記錄了晶片在遊星輪中（zhōng）的實際位置，避免了晶片在遊星（xīng）輪中的無序擺放。而半導（dǎo）體（tǐ）專遊星輪在使用中遇到輪齒損耗快，易變性易被（bèi）空氣（qì）腐蝕，導致使用壽命短的問題，而DLC類金剛石塗層工（gōng）藝可以解決以上問題。

DLC塗層又稱類金剛石塗層，硬度高(>HV2200)，幹摩擦係數低(0.05-0.1)。是一種無油（yóu）自潤滑塗層。DLC塗層厚度（dù）可達到0.55um，並以（yǐ）最新工藝使產品具有良好的潤滑、散（sàn）熱（幹式）、絕緣防靜電、化學性能穩定等性能，使工件（jiàn）壽命可增加5-10倍，可提高600％工作效力，從而降低生產成本。

做了DLC處理的不鏽鋼遊星輪對酸堿具有良好的抗腐蝕能力，適用（yòng）於在磨拋過程含（hán）有酸堿性工藝的產品使用。耐磨性強以不鏽（xiù）鋼遊星輪（lún）實際工作為例，連續工作 8500 轉;表（biǎo）麵無磨損,產品的表麵（miàn）維（wéi）氏硬度達到 HV2800以上，由於遊星輪跟其（qí）他工件摩擦（cā），容易產生靜電，而做了DLC塗層有防靜電絕緣性（xìng）能（néng），從而保護半導體芯片。從而（ér），提高了半導體晶片加工的遊星輪的（de）使用壽命。