半导体(tǐ)是指(zhǐ)常温下导电性能介于导(dǎo)体和绝缘体之(zhī)间的(de)材料,其下游应用十分广(guǎng)泛,包括集 成电路,通讯(xùn)系统(tǒng),光伏发电,人工智能(néng)等领域。常见的半导体材料(liào)有硅、锗、砷化镓等, 其中硅是商业应用上最具有(yǒu)影响(xiǎng)力的一种。中国集成电路芯片市场容量快速扩大,带动半导体(tǐ)材料需求增加。半导体材(cái)料使用主要集中在制造和封(fēng)装两大环 节,一般来说,半导体材料可分为晶圆制造材料和封装材料。其中,晶圆制造材料包括硅 片、电子特气、光掩模、光刻(kè)胶、光刻胶辅助材料(liào)、抛光材料等;封装材(cái)料包括引线框架、 封装基板、陶瓷基板等(děng)。
而随着半导体集成电路(lù)高速发展,也面临一些挑战。首先(xiān),随着越来越多的设备连接到 IoT(物联网)并在其上蓬勃发展,无线连接和速度成为一个问题(tí);其次,防水或防腐蚀(shí)的设备对消费者来说是一个(gè)巨(jù)大的吸引力;第三,设备需要(yào)可靠耐用,能够承受持续、长时间的使用和偶尔的粗暴处理。这些都是半导(dǎo)体器件需要(yào)满足的重要要求,也是半导体薄膜材料供应商需要解决的挑战。
通过(guò)磁控溅射沉积不同薄膜涂层保护材料可以解决这些挑战性问题(tí)。在半导体器件上(shàng)沉积各种DLC薄(báo)膜涂层不仅可以(yǐ)提高它们的效(xiào)率,而且可以延(yán)长它们的使用寿命。
采用DLC绝缘涂层,解决半导体器件(jiàn)铝盘因电流温度影(yǐng)响其使用寿命短的问题
很多半导体器(qì)件受电流和温度的影响以及工作环境受磨(mó)损而影响其使用(yòng)寿命,为(wéi)了提升此半(bàn)导体器件铝(lǚ)盘的使用寿命,表面采用(yòng)了DLC涂层薄膜薄膜,DLC涂层具有绝(jué)缘性能,电阻值可在10的2-10的3次方,且类金刚石 (DLC) 涂层可以给半导体器件提供最(zuì)大程度的耐磨(mó)防护,防止器件刮伤(shāng)和断裂。在应用防护DLC薄膜涂(tú)层后可以显著延长半导体器件铝盘(pán)的寿命。
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