DLC薄膜通常是非晶的,由(yóu)sp2(石墨)和sp3(金剛石)相的混合(hé)物組成。膜性能(néng)的控製強烈地(dì)依賴於所(suǒ)選擇的沉積技術(PVD濺射或(huò)蒸發和Pa-CVD)的通量特性、膜內的金屬和氫含量、sp2:sp3比、襯底偏置電壓、離子能量和離子密度以及襯底溫(wēn)度。DLC膜對鋼的摩(mó)擦(cā)係數一般在(zài)0.05-0.20之間,而膜硬度和sp3含量可以根據具體應用而定製。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV範圍(wéi)內具有35%SP3的硬度,無金屬DLC(C-DLC或a-C:H)通常為1500-4000HV和高達75%SP3,而(ér)四麵體非晶碳(ta-C)在4000-9000HV範圍內具有80-85%SP3。
鋁及其合金材料具有(yǒu)重量輕、強度大、加工方便的特性,在當今工業領域具有廣泛的應用。但(dàn)是由於鋁本身比較活(huó)潑的化學特性,其在應用中常常麵臨受(shòu)環境影響快速腐蝕進而失效的問題。因此,對(duì)鋁及其合金進行表麵處理,從而(ér)隔絕基材與環境,對於提高其耐磨加硬自潤滑能(néng)力非常重要。鋁及其合金在各領域應用的深入,對於耐磨加硬性塗層(céng)本身也提出了各種更高的要求,例如更強(qiáng)的自(zì)潤滑(huá)能力、耐磨性、表觀的均勻性及耐(nài)溫性(xìng)等等。
經DLC表麵處理的鋁件零件,其耐(nài)磨性會明顯提高,DLC技術為鋁及其合金的耐磨加硬提供了一種選擇。因此DLC表麵處理工藝在機械工業受到高度重視,以(yǐ)模具鋼為,經過DLC表麵處理的高速鋼在不同條(tiáo)件下摩擦磨損性能的差異,采(cǎi)用失重(chóng)法評(píng)估耐(nài)磨性,試驗結果表明:在(zài)高速(sù)和低速(sù)摩擦磨損試驗條件下(xià),無論在油潤滑狀態還是在幹摩擦狀態,經DLC表麵處理後高速鋼的耐磨(mó)性能都(dōu)有明顯的提高。
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