類金剛石膜(DLC)在電(diàn)子(zǐ)及微電子領域的應用
來源:公司動態 | 發布日期:2024-05-07

1980年以來,類金剛石塗層作為新型鍍膜技術一直廣受歡(huān)迎(yíng),而我國在這方麵也(yě)取得了一些(xiē)進展,但與發達國家相比仍然還(hái)有差距。

類金剛石塗(tú)層(céng)目前有很多種類,一般類金剛石塗層分為氫化類金剛石碳膜(a-CH)和(hé)無氫類金(jīn)剛石碳膜(a-C)兩大類,由(yóu)於其結構(gòu)工藝機理極為(wéi)複雜,目前DLC塗層在高溫下會出現穩定性問題,比如在超(chāo)過400度後(hòu)DLC塗層會存(cún)在很大(dà)的內應力,也會降低其結合力,會是的DLC膜層出現起皺,脫落。

類金剛石塗層

但是這也阻擋不了DLC塗層由於特(tè)殊的結構,兼備鑽石性能,所以它同時(shí)也擁有很(hěn)多優異的性能,比(bǐ)如DLC塗層的抗磨性、化學惰性、沉積(jī)溫度低、膜麵光滑,可(kě)以將其作為一些電子產品的保護膜。

類金剛石DLC在電子行業的應用

如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存(cún)儲器的表麵、電器中的音膜、半導體行業的電路板加一層類金剛石膜 DLC 保護層、不僅能有效的減(jiǎn)少機械(xiè)損傷,又不影響數據存(cún)儲。

類金剛石(shí)膜(mó)具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的(de)掩膜,不僅(jǐn)可以避免操作過程中的機械損傷(shāng),還可以在(zài)去除薄(báo)膜表麵的汙染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法,且且同時不會破壞(huài)薄膜的表麵。

采用類金剛石膜和碳(tàn)膜交替出現的多層膜結構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道(dào)效應的和獨特的電特性,在微電子領(lǐng)域有(yǒu)著潛在的應用(yòng)前景。類金剛石(shí)膜具(jù)有良好的表麵平麵光(guāng)滑度,電子發射均勻性好,即使在較低的外電場作用下,也可產生(shēng)較大的發生電流,這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。

【責任編輯】小編

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