類金剛(gāng)石具有比較(jiào)高的(de)硬度(dù)、高(gāo)導熱性、高(gāo)絕(jué)緣性、良好的化學穩定性、從紅外到紫外的高光學透過率和良好的減(jiǎn)摩(mó)特性等(děng)。這與金剛石相似,但(dàn)是,除減摩性能優良外,其它性(xìng)能均低於金剛石膜。類金剛石(shí)膜可廣泛用於機械、電子、光學、熱學、聲學、醫學等領域,並且作(zuò)為減摩耐磨塗層應用於航空航天、金屬加工(gōng)、醫療(liáo)器件等眾多領域。
類金剛(gāng)石塗層(céng)DLC是由碳和氫組成(chéng)的非晶(jīng)態或納米晶態碳薄膜(mó),具有類似天然金剛(gāng)石的結構和性質,DLC塗層的製備方法(fǎ)和應用因其結構和性質的差異而有所不同。
類金剛石(DLC)塗層的製備方法
化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子束沉(chén)積(jī)(IBAD)、射頻等離子體(tǐ)增強化學氣相沉積(PECVD)。
不(bú)同類型的DLC塗層
含氫(qīng)型(a-C:H): 含有較高比例的氫,具有較高的抗(kàng)刮擦性和較低的摩擦係數(shù)。適用於工具塗層、軸承等應(yīng)用(yòng)。
含碳型(a-C):含有較低比(bǐ)例的氫,具有較高的硬度和耐磨性。適用於硬質塗層、光學塗(tú)層等。
氮摻雜型(a-C:N):含有氮元素,具有改善(shàn)塗層硬(yìng)度和(hé)抗氧化性的(de)特(tè)性。適用於工(gōng)具塗層、摩擦件等。
矽摻雜型(Si-DLC):含有矽元素,提高了塗層的化學惰性和熱(rè)穩定性,適用於生物醫學、電子器件等領域。
類金剛石(DLC)塗層的應用領域(yù)
機械工業: 用於刀具、軸承、齒(chǐ)輪等零部件(jiàn)的表麵塗層,提高硬度和耐磨性。
醫學和生物醫學: 用於生物醫學設備、人工關節、植入物等,具有優異的生物相容性(xìng)。
電子器(qì)件: 用於塗層電子器(qì)件表(biǎo)麵,提高硬度、耐磨(mó)性和(hé)化學穩定性。
光學塗層: 用於光學元件表麵,改善抗反射(shè)、硬度和耐磨性。
摩擦材料: 用於提高摩擦材(cái)料表(biǎo)麵的性能,如摩擦片、摩擦盤等。
新能源: 用(yòng)於太陽能電池和鋰電池
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