類金剛石塗層(DLC)具有低摩擦係數、高硬度、高化學穩定性和耐磨性,被廣泛應用(yòng)於機械(xiè)和電子等領域,類金剛(gāng)石塗層在降(jiàng)低刀具摩擦係數(shù)、粘結磨損、切削力和減少積屑瘤(liú)方麵作用明顯。
在陰(yīn)極電弧設備中使用(yòng)石墨靶在硬質合金基體表麵製備0.1μm厚度的類金剛(gāng)石塗層,塗層刀具與被加工材料之間的摩擦係數有明顯下降,同時,也可阻止被加工材料與刀具基體之間的粘附,從而(ér)提高被加(jiā)工表麵的光潔度和刀具的使用壽命。
使用類金剛石塗層刀具對鋁合金(jīn)進行幹(gàn)式車削,隨(suí)著切削時間的增加,未塗層刀具的摩擦係(xì)數提高,但類金剛(gāng)石塗層(céng)刀具的摩(mó)擦係數由0.8降到0.3。對鎳基高溫合金進行銑(xǐ)削時,類金剛石塗層(céng)可降低(dī)銑刀表麵積屑瘤(liú)的產生,同時可降低(dī)被加工材(cái)料表(biǎo)麵粗糙度。因此,類金剛石塗層對刀具切削過程有(yǒu)非常積極的作用。硬質合金(jīn)刀具表麵的類金剛石塗層往往存在結合力(lì)差和SP3鍵(jiàn)比例低的問題。
在WC硬質合金表麵製備類金剛石塗層時,降低類金剛(gāng)石塗層(céng)的膜基結(jié)合力和硬度。使用等離子體離子注(zhù)入的沉積方法在不同金屬表麵沉積DLC塗層,SiC過渡層(céng)可降低類金剛石(shí)塗層的內應力,提高膜基結合力。使用等離子體注入的方法在Si片表麵沉積類金剛石塗層,類金剛石塗層的致密度有所(suǒ)提升,塗層的SP3鍵(jiàn)比例最高。
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