類金剛石塗層ta-C 沉積工藝
來源:技術支持 | 發布日期:2023-11-09

20世紀70 年代早(zǎo)期,類金(jīn)剛石(DLC)塗層才首(shǒu)次見諸報道。工業上應用這種塗層起源於汽(qì)車(chē)部件,如高壓柴油噴射係統和動力傳動(dòng)部件。當今,具有特殊優勢的(de)各種 DLC 塗層已在(zài)一些領域得到應用(yòng)。

DLC 塗層通(tōng)常由 spsp鍵的比值和氫含量來分類。當碳元素通過(guò) sp鍵結合,就會形成金剛石;通過sp%鍵結合,就會(huì)形成石(shí)墨。當spsp?鍵的比值增大時,塗層的硬度(dù)通常會增加。

可在(zài) DLC 塗層內加入鎢(wū)(W-C:H)之類的金屬(此處 C為碳,H為氫): 還可以加入其(qí)他元素如矽(Si-DLC)來改變塗(tú)層的摩擦係數或抗(kàng)溫性能。一種已用於切削刀具的(de)複合塗層(céng)為高硬度的氮化物塗層(TiAIN)加上較軟的、具有潤滑功能(néng)的頂(dǐng)層塗層(céng)(W-C:H)。因為排屑(xiè)的(de)改善,這種複合塗層在攻絲和(hé)鑽削應用中顯示出優異的效果。本文將重點討論一種被稱(chēng)作四麵(miàn)體非晶碳(tàn)(ta-C)DLC塗層

DLC塗層

通過圓形電弧工藝(yì)塗覆 ta-C 塗層的立銑刀,其塗層具有典型的彩虹色彩Ta-C 塗層是一種無氫碳元素塗層,其(qí) spsp?鍵的比值較高。與其他 DLC 塗層相比,taC膜層具有更高的硬度和抗溫性能,並可顯著降(jiàng)低摩擦係數該塗(tú)層(céng)首次應用在汽車工業的(de)挺杆(氣門頂筒),並一直應用至今。

Ta-C 塗層應用於諸如汽車頂杆零件的目的之一是為了減小摩擦,其帶來的效果是改善了發動機效率、更少的燃(rán)油消耗和更低的 CO,排放。對更佳燃油經濟性和(hé)更少汙染的推動,已將 taC 塗層應用在切削刀具和成形工具上(shàng)。增(zēng)大汽車行駛裏程數的措施(shī)之一是(shì)降低汽車自身重量。除(chú)了采用超高強度(dù)合金鋼,在(zài)車身和發動機上采用鋁合(hé)金已在過去(qù)幾年以來日益增(zēng)長。在汽車和航空航(háng)天業,塑料(liào)的應用也在日益增長。在切(qiē)削這些材料(liào)時,刀具的磨損機理完全不同於切削合金鋼。切削這些材料的主(zhǔ)要挑戰(zhàn)之(zhī)一在於保持切削刃鋒利和減小積屑瘤。因為切削這些材(cái)料的(de)刀具刃口半徑很小(xiǎo),需要刀具塗(tú)層厚度也盡可能小。所有這些挑戰可通過刀具塗覆性能優異的(de) ta-C塗層並專用於切削非鐵金屬和塑料來應對。

DLC塗層

高功率脈衝(chōng)磁控濺射工藝利用碳靶來沉積ta-C 塗層

Ta-C 塗層的切削刃對鋁幾(jǐ)乎沒有親和力。如果ta-C塗層硬度很高,遠小於(yú)1um 的塗層厚度通常足夠用(yòng)於鑽頭和立(lì)銑(xǐ)刀這樣的切削工具。在航天航空(kōng)業鑽削和CFRP疊層材料的首次試驗表明,ta-C 塗層延長了刀具壽命,並顯著改善了鑽孔質量。

【責任編輯】小編

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