類（lèi）金剛石薄膜(DLC)由於（yú）具有優良的光電和力學特性在工業上具有廣泛的應用前景近年來DLC膜（mó）在許多方麵已得到了工業化應用如在切削刀具自動化機械零部件等的表麵（miàn）塗層處理上。但是DLC膜的（de）一個致命（mìng）弱點是內部應力很高使得薄膜的附（fù）著力（lì）特性較差、不易厚（hòu）膜化從而極大（dà）地限製了它的應用範圍（wéi）。為了改善硬質薄膜特別是DLC薄膜的附著力特性，最近人們將（jiāng）目光投向了納米多層膜的研究上此法如果能優化（huà）多層膜的調製周期、各（gè）塗層種類等，可以兼顧內應力緩（huǎn）解與薄膜（mó）高硬度等特性，目前我司DLC加工廠開始引入Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)。

Ti摻雜對磁控濺射類金剛石(DLC)薄膜附著力及硬度會（huì）有什麽影響？

采用納米劃痕（hén）儀和顯微硬度計分析測試了薄膜的附著力和硬度。研究表明（míng）金屬T的摻雜（zá）有利於（yú）DLC薄膜附著力特性的改善但對硬度有一定的影響。Ti應力緩和層的導入進一步改善了 T-DLC薄膜的（de）附著力特性使（shǐ）其達到或超過了TIN薄膜的水平對於附著力的改善T應力緩和（hé）層存在（zài）最佳（jiā）的厚度值采用特殊的變周期多層結構（gòu）設計即在應力集中的膜基界麵附近采用較小的（de）調製周期薄膜頂層附（fù）近采用較大的調製周期不但可以保持足夠的附著力還可維持Ti-DLC薄膜原有的硬度。

應力緩和（hé）層對應力（lì）的緩解作用與層數,厚度及軟層/硬層厚度（dù）的相對比等間存在著密切的關係。多層薄膜的附著力（lì）緩和層的Ti/ TDLC/ TiDLC.特（tè）性發現對於具有層厚應力緩和層的（de） TiDLC多層膜其附著力結果有較大的差別，這說明應力緩和層（céng）具有最合適的（de）厚度，太薄其相（xiàng）對滑動”不能發揮最（zuì）大的應力緩和作用,太厚也（yě）不一定有利於附著力的提高。