納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化(huà)學惰性、抗磨 損性和低(dī)的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以(yǐ)進一 步提高(gāo)塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積(jī)低應力的多(duō)層結構。這種多層結構不但(dàn)可 以沉積厚膜,而且還能延(yán)長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐(fǔ)蝕性能。
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