納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性(xìng)和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛(fàn)用作保護塗層。通過向 DLC 塗層(céng)中摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構(gòu)。這種多層(céng)結構不但可 以(yǐ)沉積厚膜,而(ér)且還能延長腐蝕離子(zǐ)的(de)擴(kuò)散路徑,以增強其抗腐(fǔ)蝕(shí)性能。
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