納隆類金剛石碳基塗層因其(qí)高的抗腐蝕性、化學惰性(xìng)、抗磨 損性(xìng)和低的摩擦係數等(děng)優(yōu)異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素(sù)不僅可以進一 步提高塗層的性質,而(ér)且還可以通(tōng)過控製 Si 的摻入 量,沉積低(dī)應力的多層結構。這種多層結構(gòu)不但可 以(yǐ)沉積厚膜,而且還能延長(zhǎng)腐蝕離子的擴散(sàn)路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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