納隆(lóng)類金剛(gāng)石碳基塗層(céng)因其高的(de)抗腐蝕性、化學(xué)惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛(fàn)用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中(zhōng)摻雜 Si 元素不僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以(yǐ)通過控製 Si 的摻入 量,沉(chén)積低應力的多層結構。這種多層結構不但可 以沉積(jī)厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕(shí)性能。
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