納(nà)隆類金(jīn)剛(gāng)石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數(shù)等優(yōu)異性能,被(bèi)廣泛用(yòng)作保護塗層。通過向 DLC 塗層中(zhōng)摻雜 Si 元素不(bú)僅可以進(jìn)一 步提高塗層的性質,而且還(hái)可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力(lì)的多層結構。這(zhè)種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以(yǐ)增強其抗腐蝕性能。
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