納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗(kàng)腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數等優異性能,被廣泛用作保護塗(tú)層(céng)。通過向 DLC 塗層中摻(chān)雜 Si 元素不僅可以(yǐ)進一 步提高塗層的性質,而(ér)且還可以通過控製(zhì) Si 的摻入 量(liàng),沉積低應(yīng)力(lì)的多層結構。這種多(duō)層結(jié)構不(bú)但可 以(yǐ)沉積厚膜,而(ér)且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能(néng)。
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