納隆(lóng)類金剛石碳基塗(tú)層因其高(gāo)的抗腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低(dī)的摩擦(cā)係數等優異性(xìng)能,被廣(guǎng)泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可以進一(yī) 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層(céng)結構。這種多(duō)層結構不(bú)但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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