納隆類金剛石碳基塗層因其高的抗腐蝕性、化學惰性、抗(kàng)磨 損性和低的摩(mó)擦係數等優異性(xìng)能,被廣泛用作(zuò)保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅可(kě)以進(jìn)一 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻入 量,沉積低應力的多層結構。這種多層結構不(bú)但可 以沉積厚(hòu)膜,而且還能延長腐蝕離子的擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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