納(nà)隆類金(jīn)剛石碳基塗層因其(qí)高的抗(kàng)腐蝕性、化學惰性、抗磨 損性和低的摩擦係數(shù)等優異性能,被廣泛用作保護塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜 Si 元素不僅(jǐn)可以進一(yī) 步提高塗層的性質,而且還可以通過控製 Si 的摻(chān)入 量,沉積低(dī)應力(lì)的多層(céng)結構。這種多層結構不但(dàn)可 以沉(chén)積厚膜,而且還能延長腐蝕離子的(de)擴散路徑,以增強其抗腐蝕性能。
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