納隆類金剛石碳基塗層因其(qí)高(gāo)的抗腐蝕性、化學惰性(xìng)、抗磨 損性和低的摩擦係數(shù)等優異性能,被(bèi)廣泛用作保護(hù)塗層。通過向 DLC 塗層中摻雜(zá) Si 元素不(bú)僅可以進一 步提高塗層的性質,而且還可以(yǐ)通過控製 Si 的(de)摻入(rù) 量,沉積低應力的多層(céng)結構。這種多層結構不但可 以沉積厚膜,而且還能延長腐蝕離子(zǐ)的擴(kuò)散路徑,以增強其抗腐蝕性能(néng)。
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